六氟化硫检测仪

半导体专用六氟化硫检测仪-简介资料

半导体专用SF6六氟化硫检测仪是针对半导体制造中六氟化硫(SF₆)的工艺质量管控与安全防护需求，采用红外传感技术对SF6气体纯度、泄漏浓度及分解产物进行实时监测的专用设备。SF6六氟化硫检测仪主要通过适配半导体洁净环境与工艺特性的设计，实现对等离子体蚀刻、腔室